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Lo ion beam sputtering è una tecnica di sputtering attuata con un cannone a ioni.

È alla base di molti processi tra cui lo ion beam figuring per la rifinitura delle ottiche, lo ion beam cleaning per l'accurata pulizia di superfici e la deposizione di materiali.

• (EN) Ion Beam Sputtering: Practical Applications to Electron Microscopy (PDF), su southbaytech.com.

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