V · D · MProcessi costruttivi per circuiti integrati (VLSI)Linea temporale10 µm · 3 µm · 1.5 µm · 1 µm · 800 nm · 600 nm · 350 nm · 250 nm · 180 nm · 130 nm · 90 nm · 65 nm · 45 nm · 32 nm · 22 nm · 14 nm · 10 nm · 7 nm · 5 nm Unità di misura: micrometro · nanometro

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